炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ

書誌事項

炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ

成島尚之研究代表

(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度)

[成島尚之], 2004.5

タイトル別名

平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)

タイトル読み

タンカ ケイソ ケッショウ ノ イホウセイ : コウオン サンカ ト ヒョウメン プロセス ヘンケイ ニヨル アプローチ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB10013688
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    183枚
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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