UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発

著者

• 櫛引, 淳一 クシビキ, ジュンイチ

書誌事項

UMS技術を用いた超高周波SAWデバイス用単結晶基板表面の評価技術の開発

研究代表者 櫛引淳一

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度）

[櫛引淳一], 2003.5

タイトル読み

UMS ギジュツ オ モチイタ チョウコウシュウハ SAW デバイスヨウ タンケッショウ キバン ヒョウメン ノ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ

注記

課題番号: 12450119

平成12年度～平成14年度科学研究費補助金[基盤研究(B)(2)]研究成果報告書

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB10046031
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 200p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701