次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発

著者

• 福田, 承生 フクダ, ツグオ

書誌事項

次世代光リソグラフィーの真空紫外光学材料応用フッ化物単結晶の開発

研究代表者 福田承生

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成14年度）

[福田承生], 2002.3

タイトル読み

ジ セダイ ヒカリ リソグラフィー ノ シンクウ シガイ コウガク ザイリョウ オウヨウ フッカブツ タンケッショウ ノ カイハツ

注記

課題番号: 12555001

平成12年度～平成14年度科学研究費補助金基盤研究(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

• NII書誌ID(NCID): BB10075754
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1册
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701