半導体・MEMSのための超臨界流体
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半導体・MEMSのための超臨界流体
コロナ社, 2012.9
- Other Title
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Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
半導体MEMSのための超臨海流体
- Title Transcription
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ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ
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Note
その他の著者: 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
引用・参考文献: p[212]-222
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 1 超臨界流体とマイクロ・ナノプロセス
- 2 半導体とMEMSの製造プロセス
- 3 超臨界乾燥
- 4 超臨界流体を用いた半導体・MEMS洗浄技術
- 5 多孔質薄膜と細孔エンジニアリング
- 6 めっきへの応用
- 7 化学的薄膜堆積
- 8 超臨界流体を用いたエッチング加工
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