マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス

著者

• 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ

書誌事項

マイクロマシニングによる高周波MEMSデバイス

江刺正喜研究代表

（科学研究費補助金(基盤研究A)研究成果報告書, 平成16年度-平成18年度）

[江刺正喜], 2007.3

タイトル別名

平成16年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書 : 16201027

タイトル読み

マイクロマシニング ニ ヨル コウシュウハ MEMS デバイス

注記

課題番号: 16201027

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB10351986
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA31816366