高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

Author(s)

    • 三宅, 正司 ミヤケ, ショウジ

Bibliographic Information

高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

研究代表者 三宅正司

（科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書, 平成9年度～平成11年度）

三宅正司, 2001.2

Other Title

平成9年度～平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書

Title Transcription

コウミツド プラズマ PVD ニ ヨル ジ セダイ チョウコウシツ ハクマク ゴウセイ

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Note

課題番号: 09480091

研究分担者: 巻野勇喜雄, 節原裕一, 庄司多津男

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Details

  • NCID
    BB10518050
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [茨木]
  • Pages/Volumes
    78p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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