異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
(新材料・新素材シリーズ)
シーエムシー出版, 2012.11
- タイトル別名
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Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
High technology information
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
- タイトル読み
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イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
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