異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

著者

• 益, 一哉 マス, カズヤ
• 年吉, 洋 トシヨシ, ヒロシ
• 町田, 克之 マチダ, カツユキ

書誌事項

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修

（新材料・新素材シリーズ）

シーエムシー出版, 2012.11

タイトル別名

Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications

High technology information

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合

タイトル読み

イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ

注記

参考文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB1082106X
• ISBN:
  • 9784781305868
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: ix, 279p
• 大きさ: 27cm
• 親書誌ID:
  • BA83342253