金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究
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金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究
（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 平成5-6年度）
[大見忠弘], 1995.5
- タイトル読み
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キンゾク キバン SOI メタルゲート コウユウデンリツ ゼツエンマク CMOS チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号: 05402039
平成5～6年度科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書