赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

Author(s)

• 庭野, 道夫 ニワノ, ミチオ

Bibliographic Information

赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

庭野道夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成7年度）

[庭野道夫], 1996.3

Other Title

平成7年度科学研究費補助金試験研究(B)(2)研究成果報告書 : (課題番号05555109)

Title Transcription

セキガイ ハンシャ ブンコウホウ ニ ヨル ハンドウタイ ケッショウ ヒョウメン ノ ゲンシ セイギョ ケイソク ノ カイハツ

Note

課題番号: 05555109

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• NCID: BB11700763
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN09452958