ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発

Author(s)

    • 松浦, 孝 マツウラ, タカシ

Bibliographic Information

ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発

松浦孝研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書）

[松浦孝], 1993.3

Other Title

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号03555057)

Title Transcription

ラングミュア キュウチャクソウ オ リヨウシタ カンゼン センタクセイ オ ユウスル イホウセイ エッチング ギジュツ ノ カイハツ

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Details

  • NCID
    BB11919283
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    90p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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