ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発

著者

• 松浦, 孝 マツウラ, タカシ

書誌事項

ラングミュア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エッチング技術の開発

松浦孝研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書）

[松浦孝], 1993.3

タイトル別名

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号03555057)

タイトル読み

ラングミュア キュウチャクソウ オ リヨウシタ カンゼン センタクセイ オ ユウスル イホウセイ エッチング ギジュツ ノ カイハツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB11919283
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 90p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN09452958