エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

Author(s)

    • 嵐, 治夫 アラシ, ハルオ

Bibliographic Information

エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

嵐治夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書）

[嵐治夫], 1993.3

Other Title

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書(研究課題番号03555163)

Title Transcription

エキシマーレーザー CVD ニ ヨル コウセイノウ イオン ドウデンセイ チョウコウシ ハクマク ノ ソウセイ

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Details

  • NCID
    BB11920362
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    80p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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