エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

著者

    • 嵐, 治夫 アラシ, ハルオ

書誌事項

エキシマーレーザーCVDによる高性能イオン導電性超格子薄膜の創製

嵐治夫研究代表者

(科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書)

[嵐治夫], 1993.3

タイトル別名

平成4年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書(研究課題番号03555163)

タイトル読み

エキシマーレーザー CVD ニ ヨル コウセイノウ イオン ドウデンセイ チョウコウシ ハクマク ノ ソウセイ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB11920362
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    80p
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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