イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発

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イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発

桜井利夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成3年度）

[桜井利夫], 1993.3

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1991年度科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書 : 研究課題番号 02555002

Title Transcription

イオンミリング ニ ヨル アトム プローブ FIMヨウ ヒキンゾク シリョウシン ノ サクセイホウ ノ カイハツ

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Note

課題番号: 02555002

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Details

  • NCID
    BB12355489
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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