イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発

著者

• 櫻井, 利夫 サクライ, トシオ

書誌事項

イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発

桜井利夫研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成3年度）

[桜井利夫], 1993.3

タイトル別名

1991年度科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書 : 研究課題番号 02555002

タイトル読み

イオンミリング ニ ヨル アトム プローブ FIMヨウ ヒキンゾク シリョウシン ノ サクセイホウ ノ カイハツ

注記

課題番号: 02555002

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12355489
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN07858102