ULSIデバイス・プロセス技術 Device and process technologies for ultra large scale integration
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書誌事項
ULSIデバイス・プロセス技術 = Device and process technologies for ultra large scale integration
電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 2013.5
新版
- タイトル別名
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ULSIデバイスプロセス技術
- タイトル読み
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ULSI デバイス・プロセス ギジュツ
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注記
監修: 菅野卓雄
各章末: 文献
内容説明・目次
目次
- 第1章 序論
- 第2章 バイポーラトランジスタの動作機構
- 第3章 MOSトランジスタの動作機構
- 第4章 ULSIデバイス構造
- 第5章 微細加工技術
- 第6章 材料プロセス技術
- 第7章 信頼性と検査技術
- 第8章 ULSIの新展開
「BOOKデータベース」 より