ULSIデバイス・プロセス技術 Device and process technologies for ultra large scale integration

著者

• 伊藤, 隆司 イトウ, タカシ
• 電子情報通信学会 デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ

書誌事項

ULSIデバイス・プロセス技術 = Device and process technologies for ultra large scale integration

伊藤隆司編著 ; 電子情報通信学会編

電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 2013.5

新版

タイトル別名

ULSIデバイスプロセス技術

タイトル読み

ULSI デバイス・プロセス ギジュツ

注記

監修: 菅野卓雄

各章末: 文献

内容説明・目次

目次

• 第１章　序論
• 第２章　バイポーラトランジスタの動作機構
• 第３章　ＭＯＳトランジスタの動作機構
• 第４章　ＵＬＳＩデバイス構造
• 第５章　微細加工技術
• 第６章　材料プロセス技術
• 第７章　信頼性と検査技術
• 第８章　ＵＬＳＩの新展開

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12373695
• ISBN:
  • 9784885522741
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: 東京,東京
• ページ数/冊数: vii, 357p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • BSH : 集積回路
  • NDLSH : 集積回路