ULSIデバイス・プロセス技術 Device and process technologies for ultra large scale integration
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ULSIデバイス・プロセス技術 = Device and process technologies for ultra large scale integration
電子情報通信学会 , コロナ社 (発売), 2013.5
新版
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ULSIデバイスプロセス技術
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ULSI デバイス・プロセス ギジュツ
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Note
監修: 菅野卓雄
各章末: 文献
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１章 序論
- 第２章 バイポーラトランジスタの動作機構
- 第３章 ＭＯＳトランジスタの動作機構
- 第４章 ＵＬＳＩデバイス構造
- 第５章 微細加工技術
- 第６章 材料プロセス技術
- 第７章 信頼性と検査技術
- 第８章 ＵＬＳＩの新展開
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