RF-DC結合型バイアススパッタ装置

Author(s)

• 柴田, 直 シバタ, タダシ

Bibliographic Information

RF-DC結合型バイアススパッタ装置

柴田直研究代表

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和62年度）

[柴田直], 1989.3

Other Title

昭和62年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号62850050)

Title Transcription

RF-DC ケツゴウガタ バイアス スパッタ ソウチ

Details

• NCID: BB12423501
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 73p
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA31269048