RF-DC結合型バイアススパッタ装置

書誌事項

RF-DC結合型バイアススパッタ装置

柴田直研究代表

(科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和62年度)

[柴田直], 1989.3

タイトル別名

昭和62年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号62850050)

タイトル読み

RF-DC ケツゴウガタ バイアス スパッタ ソウチ

大学図書館所蔵 件 / 1

この図書・雑誌をさがす

関連文献: 1件中  1-1を表示

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB12423501
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    73p
  • 大きさ
    26cm
  • 親書誌ID
ページトップへ