RF-DC結合型バイアススパッタ装置

著者

• 柴田, 直 シバタ, タダシ

書誌事項

RF-DC結合型バイアススパッタ装置

柴田直研究代表

（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和62年度）

[柴田直], 1989.3

タイトル別名

昭和62年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書(課題番号62850050)

タイトル読み

RF-DC ケツゴウガタ バイアス スパッタ ソウチ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12423501
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 73p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA31269048