ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

Author(s)

• 表面技術協会 ヒョウメン ギジュツ キョウカイ

Bibliographic Information

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会編

コロナ社, 2013.5

Other Title

Introduction to dry processing for surface finishing and thin film coating

ドライプロセスによる表面処理薄膜形成の基礎

Title Transcription

ドライ プロセス ニヨル ヒョウメン ショリ ハクマク ケイセイ ノ キソ

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• ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

  2013.5.

  Maruzen eBook Library

Note

引用・参考文献: p[186]-195

Description and Table of Contents

Table of Contents

• １　ドライプロセスとプラズマ（表面処理；ドライプロセスと真空　ほか）
• ２　真空およびプラズマ（真空；プラズマ　ほか）
• ３　ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成（真空蒸着；イオンプレーティング　ほか）
• ４　分析と評価（膜厚測定；表面分析　ほか）

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Details

• NCID: BB12458539
• ISBN:
  • 9784339046311
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vi, 198p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 566.78
  • NDC9 : 566.78
  • NDC9 : 566.7
• Subject Headings:
  • BSH : めっき
  • NDLSH : 金属表面処理
  • NDLSH : 薄膜
  • NDLSH : 真空蒸着