熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション

著者

• 南部, 健一 ナンブ, ケンイチ

書誌事項

熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション

南部健一研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成元年度）

[南部健一], 1990.3

タイトル別名

平成元年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書 : (研究課題番号 01550132)

タイトル読み

ネツ CVDホウ ニ ヨル セイマク カテイ ノ モンテカルロシミュレーション

注記

課題番号: 01550132

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12470578
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 25p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735