医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

書誌事項

医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

研究代表者 松尾正之

(科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和61年度)

[松尾正之], 1987.3

タイトル別名

昭和61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(課題番号 60850075)

試験研究(2) 60850075 医用低ドリフトモノリシック容量形圧力センサの開発

タイトル読み

イヨウ テイドリフトモノリシック ヨウリョウケイ アツリョク センサ ノ カイハツ

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注記

研究課題番号: 60850075

研究代表者: 松尾正之 (東北大学)

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB12548937
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    36, [4]p
  • 大きさ
    26cm
  • 親書誌ID
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