ダブル・クヌーセンセル-質量分析計の試作と化合物半導体材料製造の基礎研究

著者

• 阿座上, 竹四 アザカミ, タケシ

書誌事項

ダブル・クヌーセンセル-質量分析計の試作と化合物半導体材料製造の基礎研究

研究代表者 阿座上竹四

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, 平成6年度）

[阿座上竹四], 1995.3

タイトル読み

ダブル・クヌーセンセル-シツリョウ ブンセキケイ ノ シサク ト カゴウブツ ハンドウタイ ザイリョウ セイゾウ ノ キソ ケンキュウ

注記

課題番号: 05555196

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書

参考文献: p57

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB12762766
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 57枚
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN09452958