Thermal reaction mechanisms of polycrystalline AIN and SiC with XeF[2]

著者

• 渡邊, 守道 ワタナベ, モリミチ

書誌事項

Thermal reaction mechanisms of polycrystalline AIN and SiC with XeF[2]

doctoral dissertation by Morimichi Watanabe

[s.n.], [2004]

タイトル別名

多結晶窒化アルミニウムおよび炭化珪素とフッ化キセノン(2)の熱反応機構の研究

多結晶窒化アルミニウムおよび炭化珪素とフッ化キセノン(2)の熱反応機構の研究

注記

On t.p. "[2]" is subscript

Thesis (Ph.D.)--Nagoya University. Graduate School of Engineering, 2004

Kind of academic degree: 博士(工学)

Date degree granted: 2004-07-30

Report number: 乙第6373号

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB1341101X
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [S.l.]
• ページ数/冊数: 130 p.
• 大きさ: 30 cm