シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価
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書誌事項
シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価
[出版者不明], [1999]
- タイトル読み
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シールドガタ アークイオンプレーティングホウ ニ ヨル タンソケイ コウシツ ウスマク ノ サクセイ ト ソノ コウゾウ オヨビ キカイテキ セイシツ ヒョウカ
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注記
名古屋大学大学院工学研究科1999年度博士論文
学位の種類: 博士 (工学)
学位授与年月日: 2000-03-27
報告番号: 甲第4691号
学位記番号: 工博第1398号