集束イオンビームを用いたサブミクロンNb/A10x/Nbトンネル接合作製技術に関する研究
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書誌事項
集束イオンビームを用いたサブミクロンNb/A10x/Nbトンネル接合作製技術に関する研究
[出版者不明], [1995]
- タイトル読み
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シュウソク イオンビーム オ モチイタ サブミクロン Nb/A10x/Nb トンネル セツゴウ サクセイ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
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注記
名古屋大学1994年度博士論文
学位の種類: 博士(工学)
学位授与年月日: 1995-03-27
報告番号: 甲第3191号