イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成
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イオン注入による二酸化シリコン中のナノサイズシリコン微結晶の形成
[出版者不明], [1995]
- タイトル読み
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イオン チュウニュウ ニヨル ニサンカ シリコンチュウ ノ ナノサイズ シリコン ビケッショウ ノ ケイセイ
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注記
名古屋大学大学院研究科1994年度博士論文
学位の種類: 博士(理学)
学位授与年月日: 1995-03-01
報告番号: 乙第4741号
副論文3編及び参考論文4編あり