ナノインプリント技術

著者

• 松井, 真二 マツイ, シンジ
• 平井, 義彦 ヒライ, ヨシヒコ
• 電子情報通信学会 デンシ ジョウホウ ツウシン ガッカイ

書誌事項

ナノインプリント技術

松井真二, 平井義彦編著 ; 電子情報通信学会編

電子情報通信学会, 2014.3

タイトル別名

Nanoimprint Technology

タイトル読み

ナノインプリント ギジュツ

注記

参考文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。

目次

• ナノインプリントと微細加工
• ナノインプリントの物理化学とシミュレーション
• 熱ナノインプリント
• ＵＶナノインプリント
• 室温ナノインプリント
• モールド技術
• 離型技術
• 装置技術
• ３次元化・積層技術
• ナノ光学応用〔ほか〕

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB15302387
• ISBN:
  • 9784885522857
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: x, 265p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDC9 : 549
  • NDC9 : 549.8
• 件名:
  • BSH : ナノインプリント