VHF and Microwave Discharge Plasmas: Surface Heating of Plasmas at VHF and Microwave Frequency in Advanced Materials Processing

著者

• Abdel Fattah, Essam
• 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ

書誌事項

VHF and Microwave Discharge Plasmas: Surface Heating of Plasmas at VHF and Microwave Frequency in Advanced Materials Processing

Essam Abdel Fattah, Hideo Sugai

VDM Verlag Dr. Müller, 2010

注記

Includes bibliographical references (p. 141-142)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB17096708
• ISBN:
  • 9783639241488
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Saarbrücken
• ページ数/冊数: vi, 152 p.
• 大きさ: 22 cm