Notes on SEM examination of microelectronic devices

著者

    • Devaney, John R.
    • Leedy, K. O.
    • Keery, W. J.

書誌事項

Notes on SEM examination of microelectronic devices

John R. Devaney, K.O. Leedy and W.J. Keery

（NBS special publication, 400-35 . Semiconductor measurement technology|）

U.S. G.P.O., 1977

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注記

Includes bibliographical references

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  • NBS special publication

    Planning Office, National Bureau of Standards, U.S. Dept. of Commerce , For sale by the Supt. of Docs., U.S. Govt. Print. Off

    426, Suppl. 1

    所蔵館1館

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