小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
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小さなものをつくるためのナノ/サブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料,物性,形状,機能の評価法
コロナ社, 2015.7
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小さなものをつくるためのナノサブミクロン評価法 : μmからnm寸法のものをつくるための材料物性形状機能の評価法
Materials evaluation methods for micro/nano structures and devices : simulation of dynamic functions, and shape and mechanical property measurement methods including elastic, tensile, fatigue, vibration and bonding
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チイサナ モノ オ ツクル タメ ノ ナノ/サブミクロン ヒョウカホウ : μm カラ nm スンポウ ノ モノ オ ツクル タメ ノ ザイリョウ,ブッセイ,ケイジョウ,キノウ ノ ヒョウカホウ
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Note
その他の著者: 鈴木健一郎, 磯野吉正, 荻博次, 土屋智由, 石山千恵美
引用・参考文献: 章末
Description and Table of Contents
Table of Contents
- １ シミュレーション
- ２ 薄膜の弾性定数の精密計測法
- ３ 微小材料や薄膜の材料強度評価法
- ４ ３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価
- ５ 動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価
- ６ 微細なものの接着・接合強度評価
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