原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作

著者

• 大矢, 銀一郎 オオヤ, ギンイチロウ

書誌事項

原子層エピタキシャル法による酸化物単結晶薄膜育成のための制御装置の試作

大矢銀一郎研究代表者

（科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書, 昭和59年度）

[大矢銀一郎], 1985.3

タイトル別名

昭和59年度科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書 : (研究課題番号 58850073)

タイトル読み

ゲンシソウ エピタキシャル ホウ ニ ヨル サンカブツ タンケッショウ ハクマク イクセイ ノ タメ ノ セイギョ ソウチ ノ シサク

注記

課題番号: 58850073

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB21737431
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 50p
• 大きさ: 27cm
• 親書誌ID:
  • BB12550032