ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜

著者

• 平木, 昭夫 ヒラキ, アキオ

書誌事項

ビーム照射とECRプラズマとの併用法による良質ダイヤモンドの成膜

研究代表者 平木昭夫

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 昭和63年度）

大阪大学工学部, 1989.3

タイトル読み

ビーム ショウシャ ト ECR プラズマ トノ ヘイヨウホウ ニ ヨル リョウシツ ダイヤモンド ノ セイマク

注記

[課題番号]: 62460059

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB21818384
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 26 cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X