よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : あなたの知らない日本の実力がわかる
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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : あなたの知らない日本の実力がわかる
（How-nual図解入門）
秀和システム, 2016.8
第2版
- タイトル別名
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図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本としくみ
- タイトル読み
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ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル : アナタ ノ シラナイ ニホン ノ ジツリョク ガ ワカル
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注記
参考文献: p259
内容説明・目次
内容説明
製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！
目次
- 半導体製造装置を取り巻く現状
- 半導体製造装置をファブから理解する
- 洗浄・乾燥装置
- イオン注入装置
- 熱処理装置
- リングラフィー装置
- エッチング装置
- 成膜装置
- 平坦化（ＣＭＰ）装置
- 検査・測定・解析装置
- 後工程装置
「BOOKデータベース」 より
