よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : あなたの知らない日本の実力がわかる

書誌事項

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み : 製造装置の全体を俯瞰する : あなたの知らない日本の実力がわかる

佐藤淳一著

(How-nual図解入門)

秀和システム, 2016.8

第2版

タイトル別名

図解入門よくわかる : 最新半導体製造装置の基本としくみ

タイトル読み

ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ : セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル : アナタ ノ シラナイ ニホン ノ ジツリョク ガ ワカル

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注記

参考文献: p259

内容説明・目次

内容説明

製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる!

目次

  • 半導体製造装置を取り巻く現状
  • 半導体製造装置をファブから理解する
  • 洗浄・乾燥装置
  • イオン注入装置
  • 熱処理装置
  • リングラフィー装置
  • エッチング装置
  • 成膜装置
  • 平坦化(CMP)装置
  • 検査・測定・解析装置
  • 後工程装置

「BOOKデータベース」 より

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB22061881
  • ISBN
    • 9784798047263
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    259p
  • 大きさ
    21cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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