ミクロ複合型無機薄膜の微構造制御と特性評価に関する研究

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ミクロ複合型無機薄膜の微構造制御と特性評価に関する研究

研究代表者 金丸文一

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, ; 平成元年度）

大阪大学産業科学研究所, 1990.3

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ミクロ フクゴウガタ ムキ ウスマク ノ ビコウゾウ セイギョ ト トクセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ

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[課題番号]: 62470064

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Details

  • NCID
    BB22345663
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [茨木]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    26 cm
  • Parent Bibliography ID
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