ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

Author(s)

• 表面技術協会 ヒョウメン ギジュツ キョウカイ

Bibliographic Information

ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

表面技術協会編

コロナ社, 2016.12

Other Title

Advanced dry processing for surface finishing and thin films coating

ドライプロセスによる表面処理薄膜形成の応用

Title Transcription

ドライ プロセス ニヨル ヒョウメン ショリ・ハクマク ケイセイ ノ オウヨウ

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• ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

  2016.12.

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Note

引用・参考文献: p[283]-302

索引あり

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１編　ドライプロセスの基盤技術（真空技術；ガス制御；プロセスモニター）
• 第２編　ドライプロセスの応用（光学薄膜；トライボロジー薄膜；表面硬化処理；耐環境性皮膜；ガスバリア膜；親水性とはっ水性；高分子材料の表面処理；炭素系薄膜；ドライプロセスと医療）

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Details

• NCID: BB2267576X
• ISBN:
  • 9784339046502
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: x, 305p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 566.7
  • NDC9 : 566.7
• Subject Headings:
  • BSH : 金属表面処理
  • BSH : 薄膜