ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
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書誌事項
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
コロナ社, 2016.12
- タイトル別名
-
Advanced dry processing for surface finishing and thin films coating
ドライプロセスによる表面処理薄膜形成の応用
- タイトル読み
-
ドライ プロセス ニヨル ヒョウメン ショリ・ハクマク ケイセイ ノ オウヨウ
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注記
引用・参考文献: p[283]-302
索引あり
内容説明・目次
目次
- 第1編 ドライプロセスの基盤技術(真空技術;ガス制御;プロセスモニター)
- 第2編 ドライプロセスの応用(光学薄膜;トライボロジー薄膜;表面硬化処理;耐環境性皮膜;ガスバリア膜;親水性とはっ水性;高分子材料の表面処理;炭素系薄膜;ドライプロセスと医療)
「BOOKデータベース」 より