プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

著者

• プラズマ・核融合学会 プラズマ カクユウゴウ ガッカイ

書誌事項

プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー

プラズマ・核融合学会編

森北出版, 2017.1

タイトル別名

プラズマプロセス技術 : ナノ材料作製加工のためのアトムテクノロジー

タイトル読み

プラズマ プロセス ギジュツ : ナノザイリョウ サクセイ・カコウ ノタメノ アトム テクノロジー

注記

文献: 各章末

内容説明・目次

内容説明

最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。

目次

• 第１章　プラズマ技術の基礎
• 第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎
• 第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎
• 第４章　ナノエッチング技術
• 第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御
• 第６章　ナノ粒子の気相合成
• 第７章　計測技術とプロセス解析

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BB22938144
• ISBN:
  • 9784627775619
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 273p
• 大きさ: 22cm
• 分類:
  • NDLC : M213
  • NDC9 : 501.4
• 件名:
  • BSH : 材料科学
  • BSH : プラズマ物理学
  • NDLSH : 工業材料
  • NDLSH : プラズマ
  • NDLSH : ナノテクノロジー