走査型電子顕微鏡(SEM)による2次元表面粗さ計測とその応用に関する研究

著者

• 佐藤, 寿芳 サトウ, ヒサヨシ

書誌事項

走査型電子顕微鏡(SEM)による2次元表面粗さ計測とその応用に関する研究

研究代表者 佐藤壽芳

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書）

[佐藤壽芳], [198-]

注記

昭和57年度科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書(課題番号56460074)

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23440943
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [東京]
• ページ数/冊数: 23p.
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN0345591X