ラジカルビーム・エピタキシの基礎過程に関する研究

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ラジカルビーム・エピタキシの基礎過程に関する研究

研究代表者 広瀬全孝

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 昭和63年度）

[広瀬全孝], 1989.3

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ラジカルビーム エピタキシ ノ キソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ

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研究課題番号: 61420028

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Details

  • NCID
    BB23539235
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東広島]
  • Pages/Volumes
    ix, 29p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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