ラジカルビーム・エピタキシの基礎過程に関する研究

著者

• 広瀬, 全孝 ヒロセ, マサタカ

書誌事項

ラジカルビーム・エピタキシの基礎過程に関する研究

研究代表者 広瀬全孝

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 昭和63年度）

[広瀬全孝], 1989.3

タイトル読み

ラジカルビーム エピタキシ ノ キソ カテイ ニ カンスル ケンキュウ

注記

研究課題番号: 61420028

文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23539235
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東広島]
• ページ数/冊数: ix, 29p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN04213993