低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発

著者

• 蒲生, 健次 ガモウ, ケンジ

書誌事項

低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発

研究代表者 蒲生健次

（科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, ; 平成4年度）

大阪大学基礎工学部, 1993.4

タイトル読み

テイソンショウ マスクレス 3ジゲン ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ

注記

[課題番号]: 03555003

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23579229
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [豊中]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN09452958