CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

著者

• 三好, 良夫

書誌事項

CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

研究代表者 三好良夫

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, ; 平成5年度）

大阪大学基礎工学部, 1994.3

タイトル読み

CVD ヒフクザイ ノ キョウド トクセイ ニ オヨボス ハクマクナイ ザンリュウ オウリョク ノ エイキョウ

注記

[課題番号]: 03650063

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB23817214
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [豊中]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BN03663735