リソグラフィ技術その40年

著者

• 岡崎, 信次 オカザキ, シンジ
• 田中, 初幸 タナカ, ハツユキ
• 花畑, 誠 ハナバタ, マコト
• 鴨志田, 洋一 カモシダ, ヨウイチ
• 野崎, 耕司 ノザキ, コウジ
• 渡邊, 健夫 ワタナベ, タケオ
• 関口, 淳 セキグチ, アツシ
• Mack, Chris A.
• 上野, 巧 ウエノ, タクミ

書誌事項

リソグラフィ技術その40年

S&T出版, 2016.12

タイトル読み

リソグラフィ ギジュツ ソノ 40ネン

注記

参考文献: 章末

索引あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB24048261
• ISBN:
  • 9784907002633
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 143p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDLC : ND386
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • NDLSH : リソグラフィー