光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

書誌事項

光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

研究代表者 春名正光

(科学研究費補助金(試験研究B(2))研究成果報告書, ; 平成6年度)

大阪大学医学部, 1995.4

タイトル読み

ヒカリ シュウセキ デバイスヨウ コウセイサイ レーザ ビーム ビョウガ ソウチ ノ シサク

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注記

課題番号: 05555014

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB2515502X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    [吹田]
  • ページ数/冊数
    1 冊
  • 大きさ
    30 cm
  • 親書誌ID
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