集積回路のための半導体デバイス工学
著者
書誌事項
集積回路のための半導体デバイス工学
コロナ社, 2018.4
- タイトル別名
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Semiconductor device engineering for integrated circuits
- タイトル読み
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シュウセキ カイロ ノ タメ ノ ハンドウタイ デバイス コウガク
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文献: 章末
内容説明・目次
目次
- 1章 集積回路の微細化が進められた理由(なぜ集積回路を微細化するのか;集積回路の微細化と性能の推移 ほか)
- 2章 固体電子論の基礎(自由電子の波動関数;シリコンの結晶構造 ほか)
- 3章 半導体中のキャリヤ(真性半導体;真性半導体の伝導電子密度と正孔密度 ほか)
- 4章 MOSFETの動作原理(MOS構造;空乏近似 ほか)
- 5章 LSI製造プロセス(LSIができるまでの流れ;製造プロセスのフロー ほか)
- 6章 LSIの構成と動作(DRAMの動作;SRAMの動作 ほか)
「BOOKデータベース」 より