酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
Author(s)
Bibliographic Information
酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度)
[電気通信大学], 2001.3
- Title Transcription
-
サンカ シリコン ナノ ポーラス ハクマク ノ テイユウデンリツ ザイリョウ エノ オウヨウ
Available at / 1 libraries
-
No Libraries matched.
- Remove all filters.
Search this Book/Journal
Note
課題番号: 11650317