MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ
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MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ
日刊工業新聞社, 2018.8
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Introduction to MEMS devices
つかうわかるつくるマイクロマシンセンサ
- Title Transcription
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MEMS デバイス テッテイ ニュウモン : 「ツカウ」 「ワカル」 「ツクル」 マイクロマシン・センサ
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Note
"現実世界と情報世界を仲立ちする、情報処理回路の入出力の要「MEMSデバイス」。MEMSはどう使え、どう動き、どう作るのか、関連するスキルと知識を、豊富な実験例と平易な文章で解説する。"--TRC MARCによる
Description and Table of Contents
Description
これは、ただの解説本ではない！豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊！
Table of Contents
- 第１章 ＭＥＭＳを“つかう”（電子情報機器の用途—どこでもＭＥＭＳの時代；電子情報機器の仕組み—入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路；百聞は一見に如かず１—秋葉原で買ったＭＥＭＳ大集合 ほか）
- 第２章 ＭＥＭＳを“わかる”（百聞は一見に如かず２—ばね＋マス＝ＭＥＭＳ構造を理解する；ＭＥＭＳが加速度を感じる仕組み—マスとばねとの力の釣り合い；重なり変化で変位を検知—くし歯静電容量による読み出しの原理 ほか）
- 第３章 ＭＥＭＳを“つくる”（百聞は一見に如かず４—「実験用ＭＥＭＳ」で見るＭＥＭＳ構造と製法；フォトリソグラフィ大研究—ＭＥＭＳは「積んで、リソして、削って」作る；パターンを転写してＭＥＭＳを形作る—Ｄｅｅｐ ＲＩＥ ほか）
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