極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

Author(s)

• 新宮原, 正三 シングハラ, ショウソウ

Bibliographic Information

極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

研究代表者 新宮原正三

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成5年度）

[新宮原正三], 1995.3

Title Transcription

キョクビサイ キンゾク ハイセン ニオケル コウミツド デンシリュウ ニ ユウキサレル ホウコウセイ ゲンシ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ オヨビ セイギョ

Note

課題番号:03555061

研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)

研究分担者: 堀池靖浩, 進藤春雄, 坂上弘之, 金子尚史

引用・参考文献あり

Details

• NCID: BB27413498
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [東広島]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN07858102