極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御
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書誌事項
極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御
（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成5年度）
[新宮原正三], 1995.3
- タイトル読み
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キョクビサイ キンゾク ハイセン ニオケル コウミツド デンシリュウ ニ ユウキサレル ホウコウセイ ゲンシ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ オヨビ セイギョ
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注記
課題番号:03555061
研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)
研究分担者: 堀池靖浩, 進藤春雄, 坂上弘之, 金子尚史
引用・参考文献あり
